SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪 可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数

SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪

SENpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表, 操作简易, 多角度或单角度入射快速测量并分析数据。 SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱，并同椭偏测量数据结合分析。使用补偿器，可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。

SENpro 带有光谱椭偏仪分析软件 SpectraRay LT，可对系统硬件控制和数据分析， 如测量数据、建模、拟合和输出。

主要应用:

1，测量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范围0.1 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。 ,

2，测量多层膜 

3，分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜

4，测量光刻胶的光学常数

5，分析薄膜

6，测量各向异性材料和薄膜